关于征求《安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）（征求意见稿）》意见的公告

各有关单位：

为加快推进安徽省原子级制造产业培育和创新发展，我厅在深入调研和征求相关方意见的基础上，研究起草了《安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）（征求意见稿）》，现向社会公开征求意见。

此次公开征求意见的起止时间为2026年7月21日至2026年8月20日。如有意见建议，请填写《征求意见反馈信息表》，在规定时间内通过电子邮件反馈至wuyilian @ahjxw.gov.cn。邮件主题请注明“关于原子级制造创新发展行动方案的意见建议”。

附件：1.安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）（征求意见稿）

2.《安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）（征求意见稿）》起草情况说明

3.征求意见反馈信息表

安徽省工业和信息化厅

2026年7月21日

附件1

安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）

（征求意见稿）

原子级制造通过规模化精准操控原子，将制造精度或结构推进至原子水平，是赋能产品获得逼近理论极限性能的制造技术。为培育原子级制造产业新赛道，加快形成新质生产力，构建产业发展新优势，助力安徽从“制造大省”向“制造强省”跨越，特制定本行动方案。

一、总体要求

以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，深入贯彻党的二十大和二十届历次全会精神，全面贯彻习近平总书记考察安徽重要讲话精神，紧扣国家和省“十五五”规划纲要，立足“国家所需、安徽所能”，锚定“三地一区”战略定位，围绕全省“1188”现代化产业体系，聚焦集成电路、新型显示、量子信息、前沿材料等重点领域，统筹推进原子级制造基础研究、装备研发与产业融合等重点任务，积极构建良好的产业发展生态。力争到2030年，形成特色鲜明的原子级制造技术、装备和产品；主导或参与制定5项以上行业标准；研制10项以上原子级制造装备或产品；培育形成10种以上可复制、规模化原子级制造典型应用场景，打造国内领先的原子级制造细分赛道创新高地。

二、重点任务

（一）强化基础理论研究

1.开展原子级制造基础理论研究。围绕原子级加工、构筑和检测，研究单原子和原子团簇的可控构筑、原子尺度材料去除和薄膜沉积、原子尺度缺陷识别和界面结构定量解析等理论与机制；实施原子/分子层面多尺度模拟与物性分析，推进多场耦合原子级界面演化，增强极端工况下材料与器件性能稳定性；开展原子级物理AI垂直大模型及应用研发。

（二）突破关键核心技术

2.攻关原子级加工技术。攻关光学元件、新型显示器件、大尺寸超高真空用结构件的原子级抛光技术；攻关存储芯片高选择比原子层刻蚀技术，突破原子级表面完整性调控等难题，有效提升关键零部件加工质量和极端环境使役性能。

3.攻关原子级构筑技术。攻关单原子、原子团簇等功能材料宏量制备与原子级波谱吸收超结构设计技术，优化原子级负载工艺与稳定性；攻关大面积高均匀性原子层沉积技术，突破大尺寸基板多层薄膜堆叠的厚度一致性、界面质量控制难题；攻关量子芯片原子级镀膜封装、AI芯片原子级薄膜可控沉积、集成电路3D GAA工艺高均匀性沉积等关键技术和工艺；攻关固态电池界面原子级调控技术，突破电解质－电极界面稳定构筑工艺，提升电池循环寿命与安全性。

4.攻关原子级检测技术。攻关原位原子级缺陷检测技术，支撑生产过程缺陷动态检测与工艺闭环优化，推动检测技术向在线原位检测升级；攻关极端环境原子级表征技术，优化强磁场、极低温、超高压、强辐射等极端工况下的原子尺度原位检测方法，支撑高端特种器件性能优化；攻关光学元件、新型显示器件等表面原子缺陷检测技术。

（三）研发标志性产品

5.开发原子级制造工业软件。开发原子层刻蚀、沉积、退火与掺杂过程动态仿真软件、界面缺陷对电性可靠性仿真软件、原子级抛光过程多物理场仿真软件，支持工艺集成级别的全流程性能预测。开发原子级薄膜结构设计、单原子与原子团簇催化剂逆向设计、功能团簇等工艺设计软件，支撑研发效率跃升。开发高分辨电镜图像智能识别等软件，提升检测装备智能化水平。

6.研发原子级加工装备。研发可控流变原子级抛光机床、原子级复合抛光设备、等离子体、离子束、电子束刻蚀设备等核心工艺装备，攻克原子尺度精密去除、精准形貌调控、超低损伤加工等关键技术瓶颈，适配光学元件、先进制程芯片等关键器件原子尺度微缩迭代带来的全新工艺要求。

7.研发原子级构筑装备。研发高效单原子与原子团簇催化材料、团簇功能材料批量合成、高质量二维材料外延生长、高精度原子层沉积、新能源固态电池界面调控等核心工艺装备，实现材料微观形貌、界面特性、功能性能的精细化调控。

8.研发原子级检测装备。研发量子精密测量、激光干涉测量等检测装备，推动聚焦离子束电子束双束电镜、原子力显微镜、透射电镜、高端质谱仪等装备迭代升级，提升微观检测精度、表征能力与工艺稳定性。

9.研发前沿材料及相关装备。研发单原子与原子团簇功能材料、高纯金属与功能粉体材料、新型碳基材料（如石墨烯等）、先进封装与基板材料等前沿材料及其密切相关装备。

（四）拓展多元应用场景

10.集成电路。推动高性能抛光介质、高纯前驱体、原子级平整衬底等供给性材料，率先在先进制程晶圆制造、先进封装等环节应用，缩小芯片关键特征尺寸，提升芯片集成度、生产良率与工作可靠性。

11.新型显示。推动原子级平整基板、超薄玻璃以及玻璃基封装载板等关键基材在高世代LCD、柔性OLED、硅基微显示等产线落地应用；推动原子层沉积在高迁移率氧化物等制备方面的应用；拓宽超大屏、折叠屏、AR近眼显示产品应用边界，同步提升器件良率与画面性能。

12.量子测量。推动原子尺度超高精度检测技术在量子精密测量领域应用，提升原子级透射电子显微镜高分辨率成像能力，构建量子测量与原子级制造融合应用标杆场景。

13.深空探测。推动曲面硬脆材料原子级抛光技术在大口径空间光学元件等方面的应用，推动原子级超光滑制造技术在空间激光装备制造方面的应用，有效促进原子级制造成果向深空探测领域转化。

14.大科学装置。依托合肥大科学装置集群，搭建原子尺度材料性能测试、界面表征公共平台，推动原子团簇材料、新型碳基材料及原子层介电材料等二维材料的研发与工艺验证；探索原子级制造技术在高精度运动控制、自由曲面光学元件加工、聚变工程器件制造、超高真空器件制造等方面的应用，提升关键部件精度与可靠性。

15.其他。推动6N级超高纯铜、石墨烯、碳纳米管、原子级平整封装基板等在固态电池、生物医药等方面的应用。

（五）构建良好发展生态

16.健全企业梯度培育体系。推动创新资源向原子级制造产业集聚，梯度培育原子级制造领域科技型（创新型）中小企业、高新技术企业、专精特新“小巨人”企业、制造业单项冠军企业。重点招引原子级仿真计算工业软件、物理AI垂直大模型开发、原子级超精密装备与零部件、原子级传感器件、原子级催化材料等细分领域骨干企业。支持企业开放原子级制造应用场景，与装备、检测等上下游企业组建创新联合体。以合肥高新区、合肥未来大科学城为核心承载区，布局省原子级制造产业先导区，进一步集聚产业链上下游企业，逐步形成“核心引领、多点协同”的产业空间布局。

17.建设多层次创新平台。发挥重点企业整合创新资源优势，支持企业联合高校院所组建省级重点实验室、技术创新中心、制造业创新中心、产业创新中心等载体。建设检测验证、中试放大等公共服务平台，提供工艺参数优化、量产稳定性测试、原子级缺陷检测和原子级催化材料量产适配等服务。依托省内重点科创园区布局孵化平台，提供创业辅导、技术支持、市场拓展和投融资等服务。

18.完善标准与知识产权体系。推进标准体系建设，鼓励企业、高校院所和行业协会等围绕原子级抛光工艺、单原子与原子团簇功能材料构筑制备、集成电路器件原子级检测等方面，开展行业或团体标准研究制定，支持有条件的单位主导或参与国家标准及国际标准制定。支持企业、高校院所布局原子级制造高价值专利，建立原子级制造知识产权快速审查通道，加快科技成果转化。

19.强化人才引育与开放合作。支持高校设立原子级制造领域相关专业，培养专业型人才；深化校企合作，建设技能人才培育基地；支持原子级制造领域高层次科技团队来皖创新创业。深化国内国际技术交流与创新合作，加强长三角地区产业协作，筹办高水平专业论坛和展示展览活动，提升我省原子级制造产业影响力。

三、保障措施

省工业和信息化厅牵头统筹全省原子级制造产业发展，依托我省未来产业推进机制，集聚产业、科研、金融等多方资源，统筹谋划产业发展政策、重点任务与发展路径，破解技术攻关、成果转化、产业培育等难题。组建省级原子级制造创新发展联盟。积极争取国家重大科技专项和重大产业项目在皖布局和实施；落实原子级制造专业领域企业研发费用加计扣除政策，支持申报“三首”产品、标志性产品，加大科技金融等产业创新政策支持力度。省各相关部门按职责协同落实发展举措；各市立足自身禀赋，主动挖掘特色应用场景，形成省市联动、错位发展的产业格局。支持优势区域建设产业育新平台，强化要素保障和示范引领，持续优化产业发展生态。

附件2

《安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）（征求意见稿）》

起草情况说明

一、政策背景

原子级制造是未来产业发展的重要领域，省委、省政府高度重视全省未来产业发展，为进一步抢抓发展先机、强化全方位布局，推动我省原子级制造产业实现高起点开局、高质量发展，根据工业和信息化部工作部署，在学习借鉴国家相关政策规划和兄弟省市先进经验做法基础上，广泛开展专题调研和座谈交流，听取有关单位、企业和专家的意见建议，编制了《安徽省原子级制造创新发展行动方案（2026—2030年）（征求意见稿）》。

二、主要内容

《行动方案》包括总体要求、重点任务、保障措施三大部分。

（一）总体要求

明确以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导，深入贯彻党的二十大和二十届历次全会精神，全面贯彻习近平总书记考察安徽重要讲话精神，聚焦集成电路、新型显示、量子信息、前沿材料等重点领域，统筹推进原子级制造基础研究、装备研发与产业融合等重点任务，积极构建良好的产业发展生态。提出工作目标，力争到2030年，形成特色鲜明的原子级制造技术、装备和产品；主导或参与制定5项以上行业标准；研制10项以上原子级制造装备或产品；培育形成10种以上可复制、规模化原子级制造典型应用场景，打造国内领先的原子级制造细分赛道创新高地。

（二）重点任务

《行动方案》围绕产业培育发展关键环节，系统提出5方面19条重点举措。

第一方面，强化基础理论研究。研究单原子和原子团簇的可控构筑、原子尺度材料去除和薄膜沉积、原子尺度缺陷识别和界面结构定量解析等理论与机制；实施原子/分子层面多尺度模拟与物性分析；开展原子级物理AI垂直大模型及应用研发。

第二方面，突破关键核心技术。一是攻关原子级加工技术。攻关光学元件、新型显示器件、大尺寸超高真空用结构件的原子级抛光技术；攻关存储芯片高选择比原子层刻蚀技术等。二是攻关原子级构筑技术。攻关单原子、原子团簇等功能材料宏量制备与原子级波谱吸收超结构设计技术；攻关大面积高均匀性原子层沉积技术等。三是攻关原子级检测技术。攻关原位原子级缺陷检测技术；攻关极端环境原子级表征技术；攻关光学元件、新型显示器件等表面的原子缺陷检测技术等。

第三方面，研发标志性产品。一是原子级制造工业软件。开发原子层刻蚀、沉积、退火与掺杂过程动态仿真软件等；开发原子级薄膜结构设计软件；开发高分辨电镜图像智能识别等软件等。二是研发原子级加工装备。研发可控流变原子级抛光机床、原子级复合抛光设备、等离子体、离子束、电子束刻蚀设备等核心工艺装备等。三是研发原子级构筑装备。研发高效单原子与原子团簇催化材料、团簇功能材料批量合成、高质量二维材料外延生长、高精度原子层沉积、新能源固态电池界面调控等核心工艺装备等。四是研发原子级检测装备。研发量子精密测量、激光干涉测量等检测装备等。五是研发前沿材料及相关装备。研发单原子与原子团簇功能材料、高纯金属与功能粉体材料、新型碳基材料（如石墨烯等）、先进封装与基板材料等前沿材料及其密切相关装备等。

第四方面，拓展多元应用场景。集成电路方面，推动高性能抛光介质、高纯前驱体、原子级平整衬底等供给性材料在先进制程晶圆制造、先进封装等环节应用。新型显示方面，推动原子级平整基板、超薄玻璃以及玻璃基封装载板等关键基材在高世代LCD、柔性OLED、硅基微显示等产线落地应用等。量子测量方面，推动原子尺度超高精度检测技术在量子精密测量领域应用等。深空探测方面，推动曲面硬脆材料原子级抛光技术在大口径空间光学元件等方面的应用等。大科学装置方面，搭建原子尺度材料性能测试、界面表征公共平台，推动原子团簇材料、新型碳基材料及原子层介电材料等二维材料的研发与工艺验证等。其他方面，推动6N级超高纯铜、石墨烯、碳纳米管、原子级平整封装基板等在固态电池、生物医药等方面的应用等。

第五方面，构建良好发展生态。一是健全企业梯度培育体系。梯度培育原子级制造领域科技型（创新型）中小企业、高新技术企业、专精特新“小巨人”企业、制造业单项冠军企业等。布局省原子级制造产业先导区。二是建设多层次创新平台。支持企业联合高校院所组建省级重点实验室、技术创新中心、制造业创新中心、产业创新中心等载体。三是完善标准与知识产权体系。围绕原子级抛光工艺、单原子与原子团簇功能材料构筑制备、集成电路器件原子级检测等方面，开展行业或团体标准研究制定。建立原子级制造知识产权快速审查通道等。四是强化人才引育与开放合作。支持高校设立原子级制造领域相关专业，培养专业型人才；筹办高水平专业论坛和展示展览活动等。

（三）保障措施

从未来产业发展推进机制提出省工业和信息化厅作为原子级制造产业发展牵头统筹单位；组建省级原子级制造创新发展联盟；积极争取国家重大科技专项和重大产业项目在皖布局和实施；支持申报“三首”产品、标志性产品，加大科技金融等产业创新政策支持力度等。