打破国外垄断！合肥企业打造国产一体化“芯片体检仪”

你知道么？芯片也需要“健康体检”。过去，芯片“健康体检”相关技术及设备受到国外垄断，如今，国产一体化检测“医生”在合肥诞生。

近日，合肥企业安徽凌光红外科技有限公司（以下简称“凌光红外”）正式发布LUXET VERITAS微光显微镜及激光诱导电阻变化二合一显微镜。这款国内首创的集成化电性失效分析设备综合性能达到国际先进水平。中国工程院院士刘文清现场表示该设备填补了国内一体化半导体缺陷检测设备的行业空白。

破解“二合一”难题，国产“医生”诊断芯片“病症”

一台2.3米高的立式柜机，里面既搭载了具有“夜视眼”一般的微光探测模块，也具有“激光探针”——激光诱导电阻变化模块。“就像一个为芯片而设的综合性诊断检测仪。”凌光红外CTO沈金辉介绍。

芯片在流片、制造、搬运等各环节都存在着缺陷检测的需求，“就像人生病需要拍片查找病因，芯片也需要定位损坏点位，再进行修复。”而在这样的检测过程中，往往需要多台显微镜从不同维度进行检测诊断，才能找到“病因”：有的损坏部位会发热，就用锁相红外显微镜来检测；有的会发光，微光显微镜能够火眼金睛看到病因；有的则处于“隐形”状态——不发光也不发热，那就靠激光诱导电阻变化显微镜。

“分布式的独立设备国内便已无人挑战，集成式的诊断设备更是长期被国外垄断。”沈金辉表示，“二合一”的装备不是物理上的“1+1”，而是一项工程难题。“最难的是要完成激光光路及红外光路的‘二合一’。作为工业产品，需要让内部镜头来回、稳定地切换，保证工作的流畅、精密、准确。”作为“二合一”显微镜的“主刀人员”之一，沈金辉深知其中困难，“我们研发设计花了一年的时间。”

当前，该“二合一”显微镜能够做到一机两用、高度集成，分辨率达1微米，采用深度制冷近红外相机，探测波段为900-1700纳米。全面覆盖半导体全链条检测需求。

“核心性能比肩国际顶尖品牌，部分检测灵敏度、平台运动精度等指标实现超越。”沈金辉表示。

自主可控，为一线大厂提供国产选择

一台高端设备的“国产化”带来的是技术自主可控。

当前，全球半导体产业步入先进制程时代，芯片内部结构愈发精密复杂，电性失效分析成为芯片研发迭代、良率提升与品质保障的核心环节。

据了解，长期以来，国内高端芯片失效分析设备市场被国外企业垄断，进口设备采购成本高昂、交付周期漫长，还存在售后响应滞后，迭代更新速度较慢等问题。

“之前业内用的一体化设备都依靠国外，现在，我们有了国产设备，业内能够有国产选择。”沈金辉说。

“设备核心技术、关键零部件已实现百分之百自主可控，能够为国内半导体企业、各大科研院所提供高适配、低成本、高性能的国产化全套检测方案，对加速高端科学仪器国产化替代，推动集成电路产业提质增效具有战略意义。”中国工程院院士刘文清表示。

以小博大，合肥的初创企业“挑战”国际“老牌”

凌光红外，这一成立于2021年的合肥企业，从聚焦锁相红外单一设备起步，到覆盖电性失效分析全产品线，再到现阶段已覆盖近红外、中红外下的多种弱光及微光显微成像仪器，一项项技术均锚定“国产替代”这一目标。从2023年5月至今，累计交付设备85台，已确认订单超百台。

“日本、美国在微观显微镜领域发展了已经快40年，我们在创业初期就遇到很多质疑：如此小的体量如何跟国际巨头竞争？”而现在，这个合肥的初创企业用结果做出回应，“在很多技术指标上，达到了国际先进的水平。”侯达之说。

牵起产业链，“芯”作为合肥的产业地标之一，已聚集成势。2016年，合肥集成电路产业链产值仅约180亿元；到2025年，其规模已达到1514亿元。根据合肥市统计局数据，2025年，合肥存储芯片、半导体分立器件产量分别增长1.3倍和42.7%。合肥已成为拥有集成电路设备材料、设计、制造、封装测试全产业链的城市。

一台检测显微镜，藏着本土科创企业直面技术壁垒的坚持，也映照着合肥半导体产业厚积薄发的底气。

“2026年，我们已经建成了中波近红外及微光显微镜全产线的设备集群。下一步，我们想做新一代的半导体电性失效分析设备，希望能做出完全自主原创的新设备。”侯达之说。

转载于：合肥在线